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          膜厚儀(涂層測厚儀)

          發布時間:2017-08-09 01:02:07        

          涂層和覆層厚度測量已成為加工工業、表面工程質量檢測的重要一環,是產品達到優等質量標準的必備手段。為使產品國際化,我國出口商品和涉外項目中,對涂層覆層厚度測量有了明確的要求和規定。
            涂層覆層厚度的測量方法主要有:楔切法涂層測量,光截法涂層測量,電解法涂層測量,厚度差測量法,稱重法涂層測量,X射線熒光法涂層測量,β射線反向散射法涂層測量,電容法涂層測量、磁性測量法涂層測量及渦流測量法涂層測量等。這些方法中前五種是有損檢測,測量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗。

           

          一. 磁吸力測量原理及測厚儀
            ***磁鐵(測頭)與導磁鋼材之間的吸力大小與處于這兩者之間的距離成一定比例關系,這個距離就是覆層的厚度。涂層測厚儀利用這一原理制成涂層測厚儀,只要覆層與基材的導磁率之差足夠大,就可進行涂層測量。鑒于大多數工業品采用結構鋼和熱軋冷軋鋼板沖壓成型,所以磁性測厚儀應用***廣。涂層測厚儀基本結構由磁鋼,接力簧,標尺及自停機構組成。磁鋼與被測物吸合后,將測量簧在其后逐漸拉長,拉力逐漸增大。當拉力剛好大于吸力,磁鋼脫離的一瞬間記錄下拉力的大小即可獲得涂層覆層厚度。新型的產品可以自動完成這一記錄過程。不同的型號有不同的量程與適用場合。
            這種儀器的特點是操作簡便、堅固耐用、不用電源,測量前無須校準,價格也較低,很適合車間做現場質量控制?! ?br /> 二. 磁感應測量涂層的原理
            采用磁感應原理測量涂層時,利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來測定涂層覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小,來表示其涂層覆層厚度。涂層覆層越厚,則磁阻越大,磁通越小。利用磁感應原理的涂層測厚儀,原則上可以有導磁基體上的非導磁涂層覆層厚度。一般要求基材導磁率在500以上。如果涂層覆層材料也有磁性,則要求與基材的導磁率之差足夠大(如鋼上鍍鎳)。當軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時,涂層測厚儀器自動輸出測試電流或測試信號。早期的產品采用指針式表頭,測量感應電動勢的大小,涂層測厚儀儀器將該信號放大后來指示覆層厚度。近年來的電路設計引入穩頻、鎖相、溫度補償等地新技術,利用磁阻來調制測量信號。還采用專利設計的集成電路,引入微機,使測量精度和重現性有了大幅度的提高(幾乎達一個數量級)?,F代的磁感應涂層測厚儀,分辨率達到0.1um,允許誤差達1%,量程達10mm。
            磁性原理涂層測厚儀可應用來***測量鋼鐵表面的油漆層,瓷、搪瓷防護層,塑料、橡膠覆層,包括鎳鉻在內的各種有色金屬電鍍層,以及化工石油待業的各種防腐涂層厚度。

           

          三. 電渦流測量原理涂層測厚儀
            高頻交流信號在測頭線圈中產生電磁場,測頭靠近導體時,就在其中形成渦流。測頭離導電基體愈近,則渦流愈大,反射阻抗也愈大。這個反饋作用量表征了測頭與導電基體之間距離的大小,也就是導電基體上非導電覆層厚度的大小。由于這類涂層測厚儀測頭專門測量非鐵磁金屬基材上的涂層覆層厚度,所以通常稱之為非磁性測頭。非磁性測頭采用高頻材料做線圈鐵芯,例如鉑鎳合金或其它新材料。與磁感應原理比較,主要區別是涂層測厚儀測頭不同,信號的頻率不同,信號的大小、標度關系不同。與磁感應涂層測厚儀一樣,渦流測厚儀也達到了分辨率0.1um,允許誤差1%,量程10mm的高水平。
            采用電渦流原理的涂層測厚儀,原則上對所有導電體上的非導電體覆層涂層均可測量,如航天航空器表面、車輛、家電、鋁合金門窗及其它鋁制品表面的漆,塑料涂層及陽極氧化膜。涂層覆層材料有一定的導電性,通過校準同樣也可測量,但要求兩者的導電率之比至少相差3-5倍(如銅上鍍鉻)。雖然鋼鐵基體亦為導電體,但這類任務還是采用磁性原理測量涂層厚度較為合適。

           

          四. 光學測厚儀

               在測量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光,這時光的一部分在膜的表面反射,另一部分透進薄膜,然后在膜與底層 (wafer或glass)之間的界面反射。這時薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產生干涉現象。SpectraThick series就是利用這種干涉現象來測量薄膜厚度的儀器。

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